通过静电驱动对 SiN 膜谐振器进行主动反馈冷却
应用物理
2021-07-28 v1
摘要
基于反馈的控制技术在精密测量中是有用工具，因为它们允许主动塑造用于力探测测量的高品质因数振荡器的机械响应。在本文中，我们在高应力低损耗 SiN 膜谐振器上实现一种反馈技术，利用陷于介质膜上的电荷。适当延迟的反馈力（耗散反馈）能够以类似于将正常机械模冷却至有效温度 T_eff 的方式使热机械位移方差变窄。在本文报道的实验中，我们从室温开始并逐步增大反馈增益，能够将谐振器的第一正常模冷却至约 124 mK 的最低温度。该限制由我们的实验装置施加，特别是由读out 噪声注入反馈造成。我们讨论了该技术的实现细节与可能的改进。
引用
@article{arxiv.2106.08840,
title = {Active feedback cooling of a SiN membrane resonator by electrostatic actuation},
author = {Antonio Borrielli and Michele Bonaldi and Enrico Serra and Pasqualina Maria Sarro and Bruno Morana},
journal= {arXiv preprint arXiv:2106.08840},
year = {2021}
}
备注
The following article has been accepted by Journal of Applied Physics. After it is published, it will be found at https://publishing.aip.org/resources/librarians/products/journals/