VLSI技术、晶圆及其对纳米技术影响的研究
其他计算机科学
2016-09-08 v1
摘要
本文详细研究了当前VLSI技术的各个方面、其重要性，以及在硅半导体VLSI领域中纳米技术对其的替代或与之结合。在此，作者阐述了硅世界中的纳米技术，这必然意味着将CMOS器件的几何尺寸缩小到纳米尺度。这也指代一个全新的纳米技术世界，在这个世界里，化学家们正在致力于制造碳纳米管、各种纳米尺寸材料的纳米器件，甚至不知道这将如何改变整个硅和CMOS技术的世界以及我们所生活的世界。
引用
@article{arxiv.1001.3771,
title = {A Study of VLSI Technology, Wafers and Impact on Nanotechnology},
author = {Kiran Gupta and T. R. Gopalakrishnan Nair},
journal= {arXiv preprint arXiv:1001.3771},
year = {2016}
}
备注
3 pages, 2 figures