用于同步辐射光束线原位 X 射线研究的便携式 MBE 系统
仪器与探测器
2012-11-28 v1
摘要
设计并应用了一种便携式同步辐射分子束外延 (MBE) 系统用于原位研究。生长腔配备了所有标准 MBE 组件，如带挡板的蒸发源、主挡板、冷却罩、操纵器、RHEED 装置和压力计。该系统的特征在于使用了用于原位 X 射线测量的铍窗。一个超高真空 (UHV) 样品传递盒允许将在别处制备的样品在真空状态下进行转移。我们描述了该系统的设计，并通过研究埋置 InGaAs 自组织量子点的退火过程展示了其性能。
引用
@article{arxiv.1209.4183,
title = {A portable MBE system for in situ X-Ray investigations at synchrotron beamlines},
author = {T. Slobodskyy and P. Schroth and D. Grigoriev and A. A. Minkevich and D. Z. Hu and D. M. Schaadt and T. Baumbach},
journal= {arXiv preprint arXiv:1209.4183},
year = {2012}
}