基于(111)硅的'8 垂直弹簧 - 质量块'结构新型 X 轴音叉陀螺仪
其他计算机科学
2008-02-22 v1
摘要
本文提出了一种用于科里奥利效应检测的新型 X 轴音叉 MEMS 陀螺仪，其采用'8 垂直弹簧 - 质量块'结构。与常见的单平面弹簧相比，对称分布于顶部和底部的 8 个垂直弹簧能更稳定地悬挂具有大电容变化量和低机械噪声的大厚度质量块。采用体微加工技术以获得大质量块和类孪晶双梁。在制造过程中，8 个垂直弹簧的尺寸通过热氧化层保护的限位沟槽（LTs）侧壁以及极慢速刻蚀的(111)晶面被精确限定；因此，在调谐前实现了小于 30 Hz 的微小失配。初步测试表明，在大气压下，其灵敏度为 0.15 mV/(deg/s)，速率分辨率约为 0.1 deg/s。
引用
@article{arxiv.0802.3038,
title = {A Novel X-Axis Tuning Fork Gyroscope with "8 Vertical Springs-Proofmass" Structure on (111)-Silicon},
author = {Fei Duan and Jiwei Jiao and Yucai Wang and Ying Zhang and Binwei Mi and Jinpeng Li and Jian Zhu and Yuelin Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:0802.3038},
year = {2008}
}
备注
Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/EDA-Publishing)