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一种新颖、简单且精确的平面度测量方法

综合物理 2011-12-02 v1

摘要

平板的平面度测量是一个深入且古老的研究课题。然而,与 ISO 定义相关的及其他测量方法在测量和/或数据分析方面似乎不便或复杂。特别是在实际情况中,上述方法并未清晰、直接地处理倾斜角,而倾斜角总是包含在任何给定的平面度测量中。在本报告中,引入了一种新颖、简单且精确的平面度测量方法,以克服现有方法中这一普遍存在的特征。还给出了该方法的数学建模,使该方法的内在本质变得透明。应用实例显示了 consistent 的结果。

关键词

引用

@article{arxiv.1112.0211,
  title  = {A novel simple and accurate flatness measurement method},
  author = {H. L. Thang},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1112.0211},
  year   = {2011}
}