基于压电悬臂执行器的高性能低成本激光快门

我们报道了一种基于压电悬臂的光学快门的设计与表征。与传统的电磁快门相比，该器件本质低功耗且声学安静。悬臂位置由高压运放电路控制，便于调节行程范围和机械摆率，与快速开关器件相比，这使机械噪声降低了30倍。我们实现了11 $\mu$s的快门上升和下降时间，对应于1.3 $\textrm{ ms}^{-1}$的机械摆率，时间抖动小于1 $\mu$s。当用于产生光脉冲时，我们实现了250 $\mu$s的最小脉冲持续时间。快门的可靠性通过以10 Hz开关频率连续运行一周来研究。此后，快门延迟或驱动速度均未发生明显变化。我们还展示了该高压电子学可轻松配置为通用的低噪声、高带宽压电驱动器，非常适用于激光频率控制应用。