制造于 300 mm 晶体管生产线上的 12 量子自旋阵列
介观与纳米尺度物理
2025-07-22 v2 量子物理
摘要
英特尔致力于构建实用量子计算机，聚焦于开发可扩展的自旋量子比特平台，利用工业高产半导体制造专长和 300 mm 制造基础设施。本文概述了新设计、制造和演示的定制量子测试芯片概况，包含 12 个量子点自旋量子比特的线性阵列，代号为 Tunnel Falls。这些器件使用浸入光刻和极紫外光刻（EUV），以及其他标准高产制造（HVM）工艺，以及生产级工艺控制。我们呈现关键器件特征和制造细节，以及确认器件功能性的量子比特表征结果。这些结果证实了我们的制造方法，是可扩展 2D 量子比特阵列方案的关键步骤。
引用
@article{arxiv.2410.16583,
title = {12-spin-qubit arrays fabricated on a 300 mm semiconductor manufacturing line},
author = {Hubert C. George and Mateusz T. Mądzik and Eric M. Henry and Andrew J. Wagner and Mohammad M. Islam and Felix Borjans and Elliot J. Connors and J. Corrigan and Matthew Curry and Michael K. Harper and Daniel Keith and Lester Lampert and Florian Luthi and Fahd A. Mohiyaddin and Sandra Murcia and Rohit Nair and Rambert Nahm and Aditi Nethwewala and Samuel Neyens and Bishnu Patra and Roy D. Raharjo and Carly Rogan and Rostyslav Savytskyy and Thomas F. Watson and Josh Ziegler and Otto K. Zietz and Stefano Pellerano and Ravi Pillarisetty and Nathaniel C. Bishop and Stephanie A. Bojarski and Jeanette Roberts and James S. Clarke},
journal= {arXiv preprint arXiv:2410.16583},
year = {2025}
}