在磁控弧源中观察到的异常阴极侵蚀图案
等离子体物理
2015-06-18 v1
摘要
本研究调查了一种具有磁控型磁场的阴极弧源的稳定性、侵蚀特性及其与线性大颗粒过滤器的兼容性。我们报告了异常的弧斑侵蚀图案：在氩气中运行时，图案狭窄（约 2 mm）且呈现周期性凹坑；而在氩氧混合气体中运行时，图案宽阔（约 10 mm）并带有周期性沟槽和脊。这些观测结果可分别归因于 2 型和 1 型弧斑的点火概率。
引用
@article{arxiv.1402.2945,
title = {Unusual Cathode Erosion Patterns Observed for Steered Arc Sources},
author = {Jonathan Kolbeck and André Anders},
journal= {arXiv preprint arXiv:1402.2945},
year = {2015}
}
备注
Manuscript submitted to the 7th Triennial Special Issue of the IEEE Transactions on Plasma Science "Images in Plasma Science," scheduled for publication in August 2014. Manuscript length is limited to 2 pages