基于光学微腔的超声传感
光学
2023-03-23 v2 应用物理
摘要
如今，超声传感器在生物医学成像和工业无损检测领域发挥着不可替代的作用。目前，压电换能器是使用最广泛的超声传感器，但其灵敏度在尺寸变小时迅速下降，导致典型传感器尺寸处于毫米至厘米量级。为实现高灵敏度和高空间分辨率，人们开发了多种光学超声传感器。其中，采用高光学微腔的超声传感器实现了前所未有的灵敏度和宽带宽，并可在硅芯片上批量生产。在本综述中，我们介绍了使用三类光学微腔的超声传感器，包括法布里-珀罗腔、相移布拉格光栅和回音壁模式微腔。我们介绍了利用光学微腔的传感机制，并讨论了超声传感器的几个关键参数。随后我们综述了近期利用这三类微腔进行超声传感的工作及其在光声成像、测距和粒子检测等实际检测场景中的应用。
引用
@article{arxiv.2303.11814,
title = {Ultrasound sensing with optical microcavities},
author = {Xuening Cao and Hao Yang and Bei-Bei Li},
journal= {arXiv preprint arXiv:2303.11814},
year = {2023}
}