用于薄镜精确变形的超快激光应力修形
光学
2022-05-12 v1
摘要
自由曲面反射镜的制造依赖于精确的光学修形工艺，该工艺需能够任意修改低空间频率面形高度而不产生更高空间频率误差。我们提出了一种利用聚焦超快激光产生的应力来精确修形薄镜的可扩展工艺。我们将超快激光应力修形（ULSF）应用于四块熔融石英薄镜，在 2-3 次迭代内将其在 28 项泽尔尼克（Zernike）项上校正至 10-20 nm RMS，且未显著影响更高频率误差。我们对这些镜面进行了为期一个月的测量，发现介质膜反射镜稳定，但铝膜反射镜的稳定性尚不确定。ULSF 的精度与通量与现有确定性修形工艺相当，然而 ULSF 不会显著影响中空间频率误差，可在镜面镀膜后应用，并能够利用成熟的激光加工技术实现更高通量。ULSF 为快速、精确地塑造自由曲面反射镜提供了新潜力。
引用
@article{arxiv.2203.15956,
title = {Ultrafast laser stress figuring for accurate deformation of thin mirrors},
author = {Brandon D. Chalifoux and Kevin A. Laverty and Ian J. Arnold},
journal= {arXiv preprint arXiv:2203.15956},
year = {2022}
}