容性溅射源中溅射粒子的输运
等离子体物理
2015-07-22 v2
摘要
利用动力学测试多粒子方法，模拟了在多频容性耦合等离子体腔室内溅射铝的输运。针对改进的可变硬球碰撞模型，提出了一种用于氩和铝的新颖一致散射参数集。将角依赖的汤普森能量分布拟合到蒙特卡洛模拟结果，并用于溅射铝输运的动力学模拟。针对所提出的配置，在气体压力 p=0.5 Pa 的典型工艺条件下刻画了溅射粒子的输运。研究发现，由于特殊的几何条件，该输运可在一维图像中理解，由施加的和背散射的粒子通量相互作用支配。结果表明，精确的几何特征仅在电极边缘附近起重要作用，此处来自外部腔室体积的背散射效应成为主导机制。
引用
@article{arxiv.1505.02883,
title = {Transport of Sputtered Particles in Capacitive Sputter Sources},
author = {Jan Trieschmann and Thomas Mussenbrock},
journal= {arXiv preprint arXiv:1505.02883},
year = {2015}
}