基于表面声波 transduction 的纳米机械柱谐振器迈向实用质谱

纳米机电系统（NEMS）在检测小至单质子灵敏度的质量方面已展现出卓越性能。为使通量足以应用于实用质谱，NEMS 谐振器须排布为二维（2D）阵列。然而，所有最先进的机电阻 transduction 方法均依赖置于机械谐振器附近的电气引线，这极大限制了 2D 谐振器阵列的密度。一个例外是表面声波（SAW）transduction，其迄今仅在对单个纳米机械柱谐振器的 transduction 中得到展示。在此，我们演示了通过表面声波对柱对进行 transduction。这些柱直径为 700 nm，质量响应度为 -588$\pm$98 ng$^{-1}$。柱对间距分别为 70 nm 与 14.3 $\mu$m。SAW transduction 使我们能以不近于 300 $\mu$m 的电气引线测量每对中的两根柱，说明了 SAW 对致密柱谐振器阵列进行 transduction 的潜力，这是迈向实用 NEMS 质谱的关键一步。