片上屈曲穹顶 Fabry-Perot 微腔的热机械表征
介观与纳米尺度物理
2015-11-30 v1 光学
摘要
我们报道了弯曲镜面 Fabry-Perot 谐振器的热机械和热调谐特性，这些谐振器是通过在多层 a-Si/SiO2 堆叠中圆形分层屈曲的引导组装制造的。描述了温度依赖性、有效弹簧常数和机械模式频率的分析模型，并显示与实验结果吻合良好。这些腔体展现出的模式体积小至 ，受反射率限制的精细度 ，以及 MHz 范围的机械共振频率。这类单片腔体阵列可能在传感、腔量子电动力学和光力学中的应用令人关注。
引用
@article{arxiv.1510.07766,
title = {Thermo-mechanical characterization of on-chip buckled dome Fabry-Perot microcavities},
author = {M. H. Bitarafan and H. Ramp and T. W. Allen and C. Potts and X. Rojas and A. J. R. MacDonald and J. P. Davis and R. G. DeCorby},
journal= {arXiv preprint arXiv:1510.07766},
year = {2015}
}
备注
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