Simons天文台：DC/RF路由晶圆检测模块的表征

Simons天文台(Simons Observatory, SO)是一项探测宇宙微波背景的实验，目前已安装超过67,000个偏振敏感的过渡边沿传感器(TES)探测器，计划通过Advanced SO升级将总探测器数量提升至${\sim}$98,000个。TES阵列被封装进通用焦平面模块(UFMs)，其中还包含复用读出电路。每个读出模块中，DC/RF路由晶圆提供探测器与复用芯片之间的冷端接口。每个路由晶圆托盘12条偏置线，其中包含${\sim}$400 ${\mu}{\Omega}$的分流电阻，作为TES偏置电路的一部分。已制造并测试了超过70个路由晶圆，分别在室温和100 mK下进行测试，以便集成到UFMs中。为所有筛选过的晶圆汇总了实验室测量数据，展示了每个偏置线测得的平均分流电阻Rsh分布情况，既包括单个路由晶圆内部各偏置线之间的差异，也包括所有路由晶圆之间的差异。所有晶圆的平均平均分流电阻为396 ${\mu}{\Omega}$，标准差为16 ${\mu}{\Omega}$，约为${\sim}$4%。对于每个晶圆，我们注意到单个晶圆内部各偏置线平均Rsh的均匀性良好，尽管随着距离晶圆中心距离的增加，Rsh呈现轻微的下降趋势。室温制造数据显示，其Rsh分布与低温测量结果一致。