多极共振探针：基于谱动力学模拟同时确定电子密度与电子温度
等离子体物理
2022-11-30 v2
摘要
本文给出并讨论了多极共振探针（MRP）的谱动力学模型。MRP是一种特定球形设计的射频驱动探针，适用于低温等离子体的监测与控制。在理想化MRP的谱动力学模型的前期研究中已指出动力学效应的重要性。此类效应尤其在低压区主导能量损失。遗憾的是，Drude模型中不存在这些效应。借助谱动力学格式，可以预测这些能量损失，并使我们能够从模拟共振曲线的半高全宽（FWHM）中获得电子温度。同时，电子密度可由模拟共振频率导出。模拟与测量之间的良好一致性证明了所提模型的适用性。
引用
@article{arxiv.2106.11427,
title = {The Multipole Resonance Probe: Simultaneous Determination of Electron Density and Electron Temperature Using Spectral Kinetic Simulation},
author = {Junbo Gong and Michael Friedrichs and Jens Oberrath and Ralf Peter Brinkmann},
journal= {arXiv preprint arXiv:2106.11427},
year = {2022}
}