制造超导自由悬结构的技术
超导电性
2024-07-03 v1
摘要
本研究提出了制造部分或完全从基片分离的超导微结构的方法。已提出两种悬停微桥的配置，即第一种结构具有T形基片刻蚀，第二种结构通过周期性支撑点完全从基片分离。悬挂结构的制造基于氢氟（HF）和乙醇气体混合物中非晶硅氧化物的气相刻蚀。实验过程中发现，采用微桥悬挂配置制造悬结构时，超导特性会轻微减弱，减弱程度为初始参数的10%至15%。还证明了薄膜与基片之间的热耦合显著影响热能的散失。室温下，基于微桥腐蚀程度的功率散失到基片中可相差最高250倍。
引用
@article{arxiv.2407.02314,
title = {Technology of fabrication superconducting free-standing structures (FSS)},
author = {M. A. Tarkhov and A. M. Mumlyakov and M. V. Shibalov and N. V. Porokhov and N. A. Vovk and P. A. Nekludova and I. V. Trofimov and I. A. Filippov},
journal= {arXiv preprint arXiv:2407.02314},
year = {2024}
}