多透镜成像系统中多重自由曲面优化方法的系统性研究
应用物理
2018-11-06 v1 光学
摘要
随着自由曲面技术的发展，在真实系统设计中采用自由曲面已变得越来越可行。尽管自由曲面有助于光学设计者实现更具挑战性的系统特性，但多重自由曲面的实现方法仍不成熟。因此我们以一个 Scheimpflug 系统和一个光刻系统为对象，研究在成像光学系统中恰当使用自由曲面的策略。基于对自由曲面归一化半径、自由曲面阶数及系统偏心率影响的研究，讨论了确定单一自由曲面最优布置位置的方法。比较了优化两个自由曲面的不同优化策略及其对系统性能所产生的不同影响。在此基础上，还研究了在光学系统中布置多于一个自由曲面的途径。最后，给出一种工作流，作为针对系统像差构成实现多重自由曲面的指导。
引用
@article{arxiv.1804.01492,
title = {Systematic investigation of methods for multiple freeform optimization in multi-lens imaging systems},
author = {Chang Liu and Herbert Gross},
journal= {arXiv preprint arXiv:1804.01492},
year = {2018}
}