45 厘米长、45 致动器 X 射线变形镜的亚纳米级平整化
仪器与探测器
2015-06-18 v2 天体物理仪器与方法
摘要
我们制造了一个 45 厘米长的 X 射线变形镜，由超抛光单晶硅制成，沿切向轴具有 45 个致动器。组装后，表面高度误差为 19 nm rms。通过使用高精度可见光计量和精确控制算法，我们驱动了 X 射线变形镜，并将其整个表面平整至 0.7 nm rms 的可控面形误差。据我们所知，这是首次对长度超过 15 cm 的基底进行亚纳米级主动平整化。
引用
@article{arxiv.1402.1743,
title = {Sub-nanometer flattening of a 45-cm long, 45-actuator x-ray deformable mirror},
author = {L. A. Poyneer and T. McCarville and T. Pardini and D. Palmer and A. Brooks and M. J. Pivovaroff and B. Macintosh},
journal= {arXiv preprint arXiv:1402.1743},
year = {2015}
}
备注
Revised version accepted by Applied Optics 24 Apr 2014