二元氧化物纳米叠层退火过程中的结构演化及其对室温内摩擦的影响
材料科学
2021-03-10 v1
摘要
氧化物薄膜中的内摩擦对引力波探测器超高精细度光学腔的灵敏度与稳定性构成了关键限制。人们寻求掺杂或制备纳米叠层等策略以引入降低内摩擦的结构修饰。本工作描述了对 SiO2/Ta2O5 与 TiO2/Ta2O5 纳米叠层在退火过程中所经历的形态变化及其对室温内摩擦影响的研究。结果表明，热处理使两种纳米叠层的内摩擦均降低，但经由不同途径。在退火后各层仍保持完整的 SiO2/Ta2O5 纳米叠层中，内摩擦的总降低遵循组成 SiO2 与 Ta2O5 层的降低。相反，退火在 TiO2/Ta2O5 纳米叠层界面引发互扩散并形成混合相，导致内摩擦更显著地降低至约 2.6 * 10-4，该值低于任何其他具有相似阳离子浓度的 Ta2O5 混合涂层。
关键词
引用
@article{arxiv.2010.04272,
title = {Structural evolution of binary oxide nanolaminates with annealing and its impact on room-temperature internal friction},
author = {Le Yang and Mariana Fazio and Gabriele Vajente and Alena Ananyeva and GariLynn Billingsley and Ashot Markosyan and Riccardo Bassiri and Martin M. Fejer and Carmen S. Menoni},
journal= {arXiv preprint arXiv:2010.04272},
year = {2021}
}