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微机械系统中的黏附力、粘结能与卡斯马尔效应

介观与纳米尺度物理 2009-10-31 v2

摘要

我们测量了金属的粘结能。通过测量机械振动的谱线和外部力导致的挠度来表征梁的应力和刚度。为了确定粘结能,我们通过毛细力在梁与附近表面之间诱导黏附。随后的分析给出了一个值 γ=0.06\gamma =0.06 J/m2^{2},这一值约为理想化理论预测值的六分之一。可能通过包括表面粗糙度以及这些介观结构中介于接触表面之间的吸附单层的效应来解决这一差异。

关键词

引用

@article{arxiv.cond-mat/0008051,
  title  = {Stiction, Adhesion Energy and the Casimir Effect in Micromechanical Systems},
  author = {E. Buks and M. L. Roukes},
  journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0008051},
  year   = {2009}
}

备注

RevTex, 4 pages, 4 eps figures