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基于隐身技术的太赫兹频域椭偏仪装置

应用物理 2017-12-15 v1 材料科学

摘要

我们提出了一种太赫兹(THz)频域光谱(FDS)椭偏仪设计,其利用隐身技术方法抑制驻波的形成。抑制驻波的策略由三个要素组成:几何形状、涂层与调制。该仪器基于旋转分析器椭偏仪原理,并可集成多种样品腔,例如超导磁体、原位气体池或谐振样品腔等。采用返波振荡器与三个探测器,可在 0.1–1 THz(3.3–33 cm1^{-1} 或 0.4–4 meV)光谱范围内工作。该太赫兹频域椭偏仪允许在反射与透射配置下以可变入射角进行标准椭偏测量与广义椭偏测量。文中给出了用于抑制驻波的方法与精确频率校准的策略。讨论了各向异性材料介电常数测定,以及光学霍尔效应、谐振腔增强光学霍尔效应与原位光学霍尔效应实验中的自由电荷载流子测定的实验结果。实例包括硅与蓝宝石的光学常数、Group-III 氮化物高电子迁移率晶体管结构中二维电子气的自由电荷载流子性质,以及环境对外延石墨烯中自由电子迁移率与密度的影响。

关键词

引用

@article{arxiv.1712.05283,
  title  = {Stealth technology-based Terahertz frequency-domain ellipsometry instrumentation},
  author = {Philipp Kühne and Vallery Stanishev and Nerijus Armakavicius and Mathias Schubert and Vanya Darakchieva},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1712.05283},
  year   = {2017}
}