强驱动下微机械膜中固有非线性与读出非线性的空间映射
光学
2025-07-18 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
最近有研究表明，强驱动的微机械共振器显示出与本征振型截然不同的振型。这引出了一个问题：这种非线性行为的来源是什么？我们测量了高应力微机械膜非线性的空间依赖性。从频率响应中确定机械非线性，发现其独立于探测位置。反射信号的相位对于提取该固有非线性至关重要。我们的干涉仪读出结果产生高次谐波。这些谐波具有清晰的空间轮廓，显示出类似于先前报告的环形图案。这些图案由位移相关反射信号模型（结合与探测波长相同尺度的运动�幅）所再现。
引用
@article{arxiv.2502.19191,
title = {Spatial mapping of intrinsic and readout nonlinearities in a strongly-driven micromechanical membrane},
author = {Timo Sommer and Agnes Zinth and Aditya and Menno Poot},
journal= {arXiv preprint arXiv:2502.19191},
year = {2025}
}