孤立纳米颗粒的单阶段均匀沉积
介观与纳米尺度物理
2015-06-12 v1 材料科学
摘要
我们证明，通过采用单阶段沉积技术，利用商用超声加湿器从含有纳米颗粒的悬浮液产生微米尺度液滴，可以在沉积中实现孤立纳米颗粒的受控且均匀的分布。使用该方法将纳米金刚石均匀分布在Si衬底上。颗粒密度通过改变沉积时间来控制。纳米颗粒的空间分布显示为均匀且无团聚。我们提出该方法可用于开发需要均匀亚单层的纳米颗粒的纳米器件的大规模生产过程。
引用
@article{arxiv.1506.02461,
title = {Single Stage Homogenous Deposition of Isolated Nano particles},
author = {Hadar Genish and Nahum Shabi and Michael Rosenbluh},
journal= {arXiv preprint arXiv:1506.02461},
year = {2015}
}