双曲场能量分析器的模拟
等离子体物理
2016-10-04 v1
摘要
能量分析器是重要的等离子体诊断工具,广泛应用于分子光谱学、电子显微镜、基础等离子体物理学、等离子体刻蚀、等离子体加工和离子溅射技术等多个学科。Hyperbolic Field Energy Analyzer (HFEA) 是一种能够测定离子和电子能谱及温度的新型器件。HFEA 非常适用于离子稀少情况下的离子温度和密度诊断。本工作对 HFEA 筛选特定能级粒子以及测定温度和密度的能力进行了模拟。在合适的三维网格上计算了由圆锥元件、准直透镜和 Faraday 杯施加电压组合产生的电场。随后利用该电场计算了一组具有预定能量分布的粒子的轨迹。结果包括观察传感器内部的粒子轨迹,将输入能量分布与 Faraday 杯捕获粒子的能量分布进行比较,以及以圆锥元件上的电压扫描为横坐标的 Faraday 杯的 IV 特性。
引用
@article{arxiv.1610.00604,
title = {Simulation of a Hyperbolic Field Energy Analyzer},
author = {Angel Gonzalez-Lizardo and Ernesto Ulloa},
journal= {arXiv preprint arXiv:1610.00604},
year = {2016}
}