基于晶圆级双层绝缘体上硅的硅双盘光机械谐振器
光学
2025-05-08 v2 量子物理
摘要
回音壁模式（WGM）光机械谐振器是一种在纳米尺度上同时控制和测量光学与机械自由度的有前景技术。它们在传感器和量子转换器等广泛领域具有潜在应用前景。双盘 WGM 谐振器因在其周界附近共局域化地承载强相互作用的机械与光学模式而特别引人注目，得益于其高光机械耦合。此前尚未有大规模集成制造硅双盘 WGM 谐振器的报道。在本工作中，我们提出了一种双层绝缘体上硅晶圆的制造工艺，并利用其制造了具有片上光学耦合的功能性光机械硅双盘谐振器。集成器件实验观测到的光学品质因子约为 10^5，单光子光机械耦合约为 15 kHz。
引用
@article{arxiv.2408.00219,
title = {Silicon Double-Disk Optomechanical Resonators from Wafer-Scale Double-Layered Silicon-on-Insulator},
author = {Amy Navarathna and Benjamin J. Carey and James S. Bennett and Soroush Khademi and Warwick P. Bowen},
journal= {arXiv preprint arXiv:2408.00219},
year = {2025}
}