用于 GHz 频率纳米电光机械系统的室温硅平台
光学
2021-10-19 v1 应用物理
摘要
纳米电光机械系统实现了电、机械和光信号在芯片上的协同共存，以实现新功能。迄今为止，为制造这些系统提出的大多数技术平台与主流 CMOS 技术不完全兼容，从而阻碍了大规模应用。我们开发了一个用于纳米电光机械系统的 CMOS 技术平台，该平台包括用于机械信号电子驱动的压电叉指换能器和用于增强光机械相互作用的纳米晶硅纳米梁。我们展示了器件在 2 GHz 频率下的室温运行，峰值灵敏度低至 2.6 个腔声子。我们的原理验证技术平台可与硅光子学、电子学和 MEMS 器件集成并接口，并可能为经典和量子域中的相干信号处理提供多种功能。
引用
@article{arxiv.2110.09178,
title = {Room-temperature silicon platform for GHz-frequency nano-electro-opto-mechanical systems},
author = {D. Navarro-Urrios and M. F. Colombano and G. Arregui and G. Madiot and A. Pitanti and A. Griol and T. Makkonen and J. Ahopelto and C. M. Sotomayor-Torres and A. Martínez},
journal= {arXiv preprint arXiv:2110.09178},
year = {2021}
}
备注
10 pages, 3 figures. Comments are welcome