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氮化硅单光子雪崩二极管综述

仪器与探测器 2026-05-11 v1

摘要

虽然在约十年后,一种氮化硅薄膜生长于硅基板后,成功应用于用于高速光纤通信检测器材料,但又需约十年时间,才能进一步将其用作主动光学感测和成像应用的传感器材料。本文将综述从 2011 年 Z. Lu 等人在低温下首次演示(至 2024 年 N. Na 等人的室温演示)到最近的短波红外 (SWIR) 单光子检测 (SPD) 使用氮化硅单光子雪崩二极管 (GeSi SPAD) 的进展。还将讨论潜在的新应用。

关键词

引用

@article{arxiv.2605.07343,
  title  = {Review of germanium-silicon single-photon avalanche diodes},
  author = {Neil Na and Erik Chen and Gerald S. Bullerb and Robert H. Hadfield and Richard A. Sorefd},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2605.07343},
  year   = {2026}
}