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高应力单模声子波导中机械波的传播与成像

介观与纳米尺度物理 2019-06-19 v1 应用物理

摘要

我们展示了一种能够实现机械波稳健传播的单模声子波导。该波导是一种高应力氮化硅膜,支持面外模式的传播。与矩形微波波导直接类比,存在一个频带,在该频带内仅允许基模传播,而在更高频率下则支持多个模式。我们使用光学外差振动测量直接对模式轮廓进行成像,结果显示与理论吻合良好。在单模频带内,我们展示了约 5 MHz 机械波的低损耗传播(约 1 dB/cm)。这种设计非常适合用于互连非线性谐振器或光机械器件等元件的声子电路,以用于信号处理、传感或量子技术。

关键词

引用

@article{arxiv.1902.03750,
  title  = {Propagation and imaging of mechanical waves in a highly-stressed single-mode phononic waveguide},
  author = {Erick Romero and Rachpon Kalra and Nicolas P. Mauranyapin and Christopher G. Baker and Chao Meng and Warwick P. Bowen},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1902.03750},
  year   = {2019}
}

备注

6 pages, 5 figures