用于光子电路仿真的条形波导工艺变异感知紧凑模型
光学
2023-04-27 v1 应用物理
摘要
我们报道了一种新颖的工艺变异感知条形波导紧凑模型,适用于基于波导的工艺设计套件(PDK)器件的电路级仿真。该模型被证明能够描述损耗,并且——通过使用高折射率对比材料中热光效应的新表达式——描述条形波导的热光行为。一种新颖的群提取方法能够在无需假定变异来源的情况下,对有效折射率()对局部工艺变异的敏感性进行建模。利用在 300~mm 晶圆流片中制备的欧拉弯曲马赫-曾德尔干涉仪(MZIs),可在高达 2.5~m(高度多模)的宽度下提取模型参数,并强力抑制高阶模激发。实验结果证明,所报道的模型能够在前所未有的光带宽、波导宽度和温度范围内,自洽地描述所有被测器件的波导相位、损耗和热光行为。
引用
@article{arxiv.2301.01689,
title = {Process Variation-Aware Compact Model of Strip Waveguides for Photonic Circuit Simulation},
author = {Aneek James and Anthony Rizzo and Yuyang Wang and Asher Novick and Songli Wang and Robert Parsons and Kaylx Jang and Maarten Hattink and Keren Bergman},
journal= {arXiv preprint arXiv:2301.01689},
year = {2023}
}