利用聚合物探针探测冷射频等离子体的特性
等离子体物理
2019-02-20 v1
摘要
本文介绍了一种用于表征冷等离子体的探针。该探针能够估算冷等离子体的德拜长度。该探针基于冷等离子体对聚合物薄膜表面性质（润湿性）的显著改性。该探针在冷射频感应空气等离子体放电中进行了测试。估算了不同气体压力下的德拜长度和载流子浓度。报道的结果与其他方法建立的相应值合理吻合。该探针使得在密闭腔室中测量冷等离子体特性成为可能。
引用
@article{arxiv.1409.0333,
title = {Probing Properties of Cold Radiofrequency Plasma with Polymer Probe},
author = {Edward Bormashenko and Gilad Chaniel and Victor Multanen},
journal= {arXiv preprint arXiv:1409.0333},
year = {2019}
}
备注
9 pages, 4 figures