利用纳米压印光刻技术组织嵌段共聚物：理论与实验的比较
软凝聚态物质
2016-02-18 v3 介观与纳米尺度物理
材料科学
化学物理
摘要
我们介绍了嵌段共聚物(BCP)薄膜的纳米压印光刻实验和建模。纳米压印光刻技术用于在远大于自然层状周期的距离上垂直排列层状相。建模依赖于在二维和三维中进行的自洽场计算。我们与纳米压印光刻设置取得了良好的一致性。我们发现，在热力学平衡下，有序的BCP层状结构比沉积在均匀平面表面上的薄膜排列得更好。
引用
@article{arxiv.1007.4733,
title = {Organization of Block Copolymers using NanoImprint Lithography: Comparison of Theory and Experiments},
author = {Xingkun Man and Daivd Andelman and Henri Orland and Pascal Thebault and Pang-Hung Liu and Patrick Guenoun and Jean Daillant and Stefan Landis},
journal= {arXiv preprint arXiv:1007.4733},
year = {2016}
}