跨越六个数量级激光加工的光学工具
光学
2024-03-29 v1
摘要
我们概述了用于跨越六个数量级以上多功能材料改性的多尺度激光加工光学器件的开发与表征。从微加工解决方案开始，我们展示了高数值孔径（NA）显微镜物镜，其以最高峰值强度在宏观尺度上产生亚波长材料改性。进入毫米范围，我们考察了扫描光学器件在大面积加工中的适应性和可扩展性。最后，我们探索了米范围内的线束光学器件，评估了它们在使用 100kW 以上平均功率进行均匀材料加工中的应用。本研究深入探讨了此类光学器件的设计和性能特征，并展示了它们在先进激光加工中的潜力。
关键词
引用
@article{arxiv.2403.19250,
title = {Optical tools for laser machining along six orders of magnitude},
author = {Julian Hellstern and Christoph Tillkorn and Tim Hieronymus and Myriam Kaiser and Torsten Beck and Daniel Flamm},
journal= {arXiv preprint arXiv:2403.19250},
year = {2024}
}
备注
Review article with 12 pages, 15 figures and 74 references