亚稳态氦原子穿过驻波光场运动的数值模拟

采用半经典数值模型研究了亚稳态氦原子穿过驻波光场的运动。将一个包含偶极力的速度依赖性的计算结果与常用假设保守偶极力的做法进行比较。比较针对两种可用于制备纳米结构阵列的原子导引机制：低功率机制下原子被驻波中的偶极力聚焦，以及较高功率机制下原子沿光场势极小值沟道化。低功率机制下两模型差异可忽略，且均显示出于光刻目的可获得 150 nm 的图案宽度。高功率沟道机制中，预测 100 nm 特征的保守力模型被证明失效。包含速度依赖性的模型得出 40 nm 结构尺寸，通过与量子蒙特卡洛波函数计算比对证实其仍然有效。