基于中心夹紧分段双稳态机械梁的非易失硅光子 MEMS 开关
应用物理
2024-09-12 v3 光学
摘要
高性能光子开关是大规模光路由（包括 AI 大模型和物联网）中必不可少的组件。实现非易失性可进一步降低功耗并拓展应用场景。我们提出一种兼容标准硅光子晶体厂工艺的非易失 2×2 硅光子微机电系统 (MEMS) 开关。该开关采用电感 comb actuator 以改变紧凑水平副轴耦合器的气隙，从而实现非易失性，采用中心夹紧分段双稳态机械梁。该光子开关具有 10 量级 us 级切换速度和 10 量级 fJ 级仿真切换能量，占据 100×100 um2 面积，驱动电压 <=12 V。该 2×2 开关可用于大规模光子开关的各种� 拓扑，其非易失性特性可能支持未来的光子 FPGA 设计。
引用
@article{arxiv.2407.00070,
title = {Nonvolatile Silicon Photonic MEMS Switch Based on Centrally-Clamped Stepped Bistable Mechanical Beams},
author = {Qian Ma and Yinpeng Hu and Ye Lu and Yunzhi Liu and Huan Li and Daoxin Dai},
journal= {arXiv preprint arXiv:2407.00070},
year = {2024}
}