主共振附近功能梯度压电微谐振器的非线性动力学

本研究关于双侧静电驱动电容微梁的非线性动力学。该微谐振器由硅和作为压电材料的 PZT 组成。PZT 根据幂律分布沿微梁高度呈功能梯度分布。该微谐振器同时受到直流压电驱动与双侧静电驱动。直流压电驱动导致沿微梁长度方向产生轴向力，这被用作调谐工具以移动微谐振器的主共振。运动控制方程通过哈密顿量最小化导出，并推广至粘滞阻尼系统。主共振附近的周期解通过打靶法检测，其稳定性通过确定扰动运动的所谓 Floquet 指数来研究。对应于三个独立周期轨道的吸引域被确定。结果表明，周期轨道的振幅越高，吸引子的面积越小。