使用单像素探测器的隐藏物体非侵入式近场太赫兹成像
光学
2016-06-08 v2
摘要
太赫兹(THz)成像具有穿透原本不透明材料的能力。然而，由于THz辐射的长波长（在1THz处{\lambda}=300{\mu}m），远场THz成像技术在所获分辨率上远远逊色于光学成像。在本工作中，我们展示了使用单像素探测器的近场THz成像。我们将随时间变化的光学掩模投影到硅晶圆上，用于空间调制THz辐射脉冲。对应于每个掩模的远场透射由单元素探测器记录，并且该数据用于重建放置在硅晶圆远侧物体的图像。我们展示了一个原理验证应用，其中我们以~100{\mu}m ({\lambda}/4)分辨率对115{\mu}m厚硅晶圆底面的印刷电路板成像。凭借亚波长分辨率和THz探测频率提供的对局部电导率的固有灵敏度，我们表明有可能检测到几微米尺寸的电路布线中的裂纹。此类成像系统可具有其他用途，其中需要对隐藏结构进行高分辨率非侵入式测量或成像，例如在半导体制造或生物成像中。
引用
@article{arxiv.1509.03138,
title = {Non-invasive, near-field terahertz imaging of hidden objects using a single pixel detector},
author = {R. I. Stantchev and B. Sun and S. M. Hornett and P. A. Hobson and G. M. Gibson and M. J. Padgett and E. Hendry},
journal= {arXiv preprint arXiv:1509.03138},
year = {2016}
}