氢等离子体中的负离子表面产生：利用质谱测定负离子能量与角度分布函数
等离子体物理
2019-11-26 v1
摘要
本工作聚焦于理解 H2/D2 低压等离子体中表面产生负离子的机制。负离子在相对于等离子体电势负偏置的 HOPG 样品（高定向热解石墨）上产生。在正离子轰击下产生的负离子被加速朝向等离子体，自抽取并依据其能量与质量由置于样品前方的质谱仪探测。测得的负离子能量分布函数（NIEDF）的形状因质谱仪有限的接受角而与样品发射离子的 NIEDF 大不相同。为获取产生机制的信息，我们提出一种方法以获得样品发射负离子的能量与角度分布函数（NIEADFs）。该方法基于对 NIEADF 的先验确定，以及通过对比建模与实验 NIEDF 对选择进行后验验证。
引用
@article{arxiv.1911.10906,
title = {Negative-ion surface production in hydrogen plasmas: Determination of the negative-ion energy and angle distribution function using mass spectrometry},
author = {J. Dubois and K. Achkasov and D. Kogut and A. Ahmad and J. Layet and A. Simonin and Gilles Cartry},
journal= {arXiv preprint arXiv:1911.10906},
year = {2019}
}