二进制薄膜共沉积过程中有序中间相图案形成的建模

使用随机动力学均场法（Stochastic Kinetic Mean-Field method）和蒙特卡洛方法模拟薄膜共沉积过程中中间相图案的形成。区分了二维截面三种基本形貌：（1）斑点（三维中呈棒状），（2）层状结构——层纹、之形、螺旋，以及 labyrinth（三维中呈板状），（3）网状结构（反向斑点结构，当斑点占多数而周围基质占少数时）。通过一种特殊的拓扑参数对其进行特征化和区分。