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通过离子注入制备磁性超材料

材料科学 2024-11-15 v2 介观与纳米尺度物理 应用物理

摘要

我们提出了一种制备具有最小表面粗糙度的平面磁性纳米阵列的增材制造方法。该合成通过将用于生成纳米图案掩膜的电子束光刻与薄膜中的离子注入相结合来实现。通过注入 56^{56}Fe+^{+} 离子,我们能够以可控方式将磁功能引入连续的 Pd 薄膜中,实现低至几十纳米的三维空间分辨率。我们的结果展示了该技术在制备方形人工自旋冰晶格中的应用,这些晶格表现出明确的磁化织构以及图案化磁元件之间的相互作用。

关键词

引用

@article{arxiv.2409.10433,
  title  = {Magnetic metamaterials by ion-implantation},
  author = {Christina Vantaraki and Petter Ström and Tuan T. Tran and Matías P. Grassi and Giovanni Fevola and Michael Foerster and Jerzy T. Sadowski and Daniel Primetzhofer and Vassilios Kapaklis},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2409.10433},
  year   = {2024}
}

备注

5 pages, 4 figures, Supplemental Material