Look What You Made Me Glue：SEMGlu™赋能低温原子探针层析成像的替代样品制备工艺
材料科学
2024-08-08 v1 仪器与探测器
摘要
过去数年来，人们投入了大量努力来开发低温原子探针层析成像样品制备的流程。这主要是由于在没有气体注入系统（GIS）辅助的情况下，在低温条件下制备特定位点的lift-out样品存在困难，因为在低温条件下使用GIS会导致不均匀且难以控制的沉积。在此前开发的利用再沉积技术的无GIS工作流程的基础上，本工作提供了一种替代方法，使用SEMGlu™——一种在低温下仍可使用的电子束固化粘合剂——来lift-out低温冷冻样品，并将这些样品安装到硅微阵列柱上以进行后续的再沉积焊接。该方法适用于完整的低温工作流程，但对于非完全低温工作流程（如束敏感样品、易于铣削的样品以及具有挑战性几何形状的样品）尤为有用。我们展示了使用该工作流程制备的硅样品在激光脉冲模式和电压模式下的原子探针分析，其分析性能与预先锐化的微尖样品相当。我们还展示了一个直接受益于该方法的应用实例，即关联式液池透射电子显微镜与低温原子探针层析成像的样品制备。
引用
@article{arxiv.2408.03566,
title = {Look What You Made Me Glue: SEMGluTM Enabled Alternative Cryogenic Sample Preparation Process for Cryogenic Atom Probe Tomography Studies},
author = {Neil Mulcahy and James O Douglas and Michele Conroy},
journal= {arXiv preprint arXiv:2408.03566},
year = {2024}
}
备注
15 pages including references, 8 figures