与极紫外光激光等离子体源相关的激光-液滴对准灵敏度
应用物理
2018-09-05 v2
摘要
我们提出并实验验证了一个模型,描述锡微液滴受 1 {\mu}m Nd:YAG 激光脉冲辐照时,其倾斜角、膨胀和推进速度相对于对准的灵敏度。该灵敏度在用于纳米光刻的工业极紫外光等离子体源中尤为相关。我们的模型仅有一个参数:激光光斑尺寸与液滴有效尺寸的无量纲比值,该比值与等离子体临界密度面的位置有关。我们的模型能够建立直接的标度关系,进而实现对准灵敏度的精确控制。
引用
@article{arxiv.1805.05647,
title = {Laser-to-droplet alignment sensitivity relevant for laser-produced plasma sources of extreme ultraviolet light},
author = {Sten A. Reijers and Dmitry Kurilovich and Francesco Torretti and Hanneke Gelderblom and Oscar O. Versolato},
journal= {arXiv preprint arXiv:1805.05647},
year = {2018}
}
备注
7 pages, 5 figures