激光诱导的液滴变形:基于瞬时压力冲量的曲率反转解释
流体动力学
2025-02-11 v1
摘要
我们研究了由纳秒激光脉冲撞击后形成的锡片的形状。具体而言,我们关注该过程随激光束参数变化的动力学,重点探讨曲率反转这一突出难题:实验中制得的锡片以及当前先进的极端紫外线(EUV)纳米光刻光源产生的锡片曲率方向与之前的理论预测相反。我们通过结合直接数值模拟与实验数据,证明曲率反转可由低峰度的瞬时压力冲量解释。具体地,我们采用升余弦函数对无量纲压力宽度进行参数化,并成功在激光至液滴直径比的宽广范围内再现实验观察到的曲率。本文所述的仿真过程在EUV纳米光刻行业中具有应用价值,行业中激光脉冲将液滴变形为薄片,随后由第二脉冲对薄片进行电离,以产生EUV发射等离子体。
引用
@article{arxiv.2502.06417,
title = {Laser-induced droplet deformation: curvature inversion explained from instantaneous pressure impulse},
author = {Hugo França and Hermann Karl Schubert and Oscar Versolato and Maziyar Jalaal},
journal= {arXiv preprint arXiv:2502.06417},
year = {2025}
}
备注
16 pages, 10 figures