激光光刻制备微米宽超导纳米线单光子探测器

我们展示了利用激光光刻在硅衬底上制备微米宽硅化钨超导纳米线单光子探测器。我们展示了在 1550nm 光照下，线宽从 0.59$\mu$m 到 1.43$\mu$m 的饱和内部探测效率。我们演示了直纳米线以及蛇形结构。在长达 4mm 的器件中展示了单光子灵敏度。激光光刻器件允许快速且容易地构建大面积结构，同时对约 1$\mu$m 线宽保持饱和内部效率。