富勒烯 C60 电子束分散的动力学

在真空中对压制的富勒烯 C60 靶材进行电子束分散，会导致沉积出含有 C60 聚合形式的薄膜。本报告旨在通过分析靶材表面辐射温度、涂层生长速率以及基底负电流密度的动力学，来分析富勒烯靶材在电子束分散过程中的物理化学过程。研究表明，该过程的诱导阶段由负充电、辐射诱导的靶材改性及加热决定。过渡阶段的特征是靶材物质通过改性表面层中的孔隙进行非稳态升华，并释放积累的负电荷。由于升华产物对靶材的对流冷却以及孔隙下方微腔内压力的降低，过程参数趋于稳定，从而导致靶材升华和含有 C60 聚合形式的涂层沉积进入准稳态阶段。