离子束浆刻化的中红外涂层用于混合型超反镜
光学
2025-10-22 v2 应用物理
摘要
我们报告了开发低损耗离子束浆刻化（IBS）中红外涂层用于混合型超反镜的工作。实现了两种高度反射设计：HR1 是一种包含 AlO 键合层的 4 周期 a-Si/SiO DBR，HR2 是一种包含 a-Si 端层用于键合的 6 周期 a-Si/TaO DBR。结合 GaAs/AlGaAs 晶体反镜，HR2 基于的混合型总损耗为 9.3 ppm，过量损耗为 6.8 ppm，工作波长为 4.45 m，腔内 finesse 可达 396000。首次使用 IBS 制 deposition 的 a-Si 作为键合层，验证了其亚埃级粗糙度，并展示了优异的性能。这为基于先前在 Nat. Commun. 14, 7846 (2023) 中所述结果的更长中红外波长的可扩展涂层奠定了清晰的路径。
关键词
引用
@article{arxiv.2508.21462,
title = {Ion-Beam-Sputtered Mid-Infrared Coatings for Hybrid Supermirrors},
author = {Lukas W. Perner and Valentin J. Wittwer and Gar-Wing Truong and Seth B. Cataño-Lopez and Garrett D. Cole and Thomas Südmeyer},
journal= {arXiv preprint arXiv:2508.21462},
year = {2025}
}
备注
10 pages, 8 figures, submitted to AO OIC 2025 feature issue, after author revisions