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利用 Fizeau 干涉法测量的 XUV 衍射光栅本征分辨本领

仪器与探测器 2017-07-28 v1 光学

作者: Samuel Gleason , Jonathan Manton , Janet Sheung , Taylor Byrum , Cody Jensen , Lingyun Jiang , Joseph Dvorak , Ignace Jarrige , Peter Abbamonte

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摘要

我们引入了一种利用 Fizeau 干涉法测量衍射光栅本征分辨本领的方法。该方法比基于长轨迹 profiler (LTP) 的传统技术更准确，因为它对 d 间距图未能揭示的长距离相位误差敏感。我们展示了来自 Inprentus, Inc. 的机械刻划 XUV 光栅的 50,400 分辨本领。

关键词

XUV 衍射光栅 Fizeau 干涉法本征分辨本领长轨迹 profiler 相位误差

引用

@article{arxiv.1707.08639,
  title  = {Intrinsic resolving power of XUV diffraction gratings measured with Fizeau interferometry},
  author = {Samuel Gleason and Jonathan Manton and Janet Sheung and Taylor Byrum and Cody Jensen and Lingyun Jiang and Joseph Dvorak and Ignace Jarrige and Peter Abbamonte},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1707.08639},
  year   = {2017}
}

备注

12 pages, 6 figures