强边界发射破坏正常射频等离子体鞘层
等离子体物理
2020-03-11 v4
摘要
等离子体鞘层是隔离本体等离子体与外边界的非中性空间电荷区。当对电极施加射频(RF)电压时，形成射频鞘层。通常，外加偏压主要由射频鞘层消耗，后者屏蔽外场。本文首次报道了强边界发射破坏正常射频鞘层并建立一种新型射频等离子体的证据，其中外部偏压由本体等离子体而非鞘层消耗。离子被自然约束，而等离子体电子不受阻碍，在整个等离子体中产生强射频电流，并结合独特的粒子与能量平衡。所提出的模型为面向等离子体部件的离子侵蚀缓解提供了可能性，也为等离子体处理中的反应速率控制与波模转换技术带来启发。
引用
@article{arxiv.1909.00127,
title = {Intense boundary emission destroys normal radio-frequency plasma sheath},
author = {Guang-Yu Sun and An-Bang Sun and Guan-Jun Zhang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1909.00127},
year = {2020}
}