使用廉价多样品STEM-ADF系统在FEG-SEM中进行高通量纳米颗粒分析
材料科学
2015-10-12 v1
摘要
纳米技术研究需要常规使用高空间分辨率的表征方法。这些实验相当昂贵，不仅因为昂贵的显微镜，也因为需要相当专业的设备操作员。本文中，我们描述了一种廉价简单的装置的构建，该装置允许在FEG-SEM中分析纳米颗粒；可以高放大倍数（例如x500.000）和纳米级分辨率生成图像。它基于透射电子环形暗场（TE-ADF）信号的获取；该系统可承载多达16个TEM样品，并且与SEM样品交换气锁兼容。性能测试表明，测得的ADF信号显示出对直径约10 nm的过渡金属纳米颗粒的原子序数和厚度依赖性。此外，信号质量足够高，可以使用常规图像处理软件对直径2-10 nm范围内的金颗粒进行尺寸分布直方图的测定。所开发的ADF装置允许对纳米颗粒样品进行更快速、更便宜的高空间分辨率成像，用于常规形态表征，并为高效样品筛选提供了宝贵的高通量工具。
引用
@article{arxiv.1510.02690,
title = {High-throughput nanoparticle analysis in a FEG-SEM using an inexpensive multi-sample STEM-ADF system},
author = {M. J. Lagos and P. C. da Silva and D. Ugarte},
journal= {arXiv preprint arXiv:1510.02690},
year = {2015}
}