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基于原子力显微镜与石英晶体谐振器的高速纳米摩擦学研究

介观与纳米尺度物理 2013-12-11 v1 材料科学

摘要

米每秒量级的摩擦测量仍然具有极大的研究价值。本文利用原子力显微镜 (AFM) 研究了共振频率为 3 MHz 的石英晶体谐振器的振荡状态,其振荡速度可达数米每秒。随后,在制备于石英晶体谐振器上的 Fischer 图案上进行了摩擦测量。本文介绍了如何测量石英晶体谐振器的振荡速度以及不同设计下的摩擦测量方法,并详细讨论了校准方法与计算方法。尽管由于装置本身及振荡石英的影响,AFM 测量存在误差,且可能严重影响悬臂针尖的锐度,但结果表明,振荡状态下的局部摩擦系数高于无振荡状态。

关键词

引用

@article{arxiv.1312.2817,
  title  = {High speed nanotribology with quartz crystal resonators via Atomic Force Microscopy},
  author = {Fengzhen Zhang and Othmar Marti and Stefan Walheim and Thomas Schimmel},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1312.2817},
  year   = {2013}
}