基于可变合成波长的双波长外差干涉术高精度绝对距离测量
仪器与探测器
2014-02-25 v1 光学
摘要
我们提出了一种基于双波长干涉仪和可变合成波长技术的绝对距离测量干涉仪。波长扫描范围为 12 GHz，通过在各测量波长下进行外差探测，实现了 1.0 m 的相位精度。这种较小的波长扫描范围使得可以使用分布式反馈激光二极管作为干涉仪光源，并通过注入电流控制实现 20 ms 的快速波长扫描时间。我们展示了高达 1.5 m 的测量范围，与位移测量干涉仪相比，其精度优于 1.2 nm，对应相对精度为 。此外，我们还提出了扩大最大测量范围以及针对直线对撞机进行空气折射率补偿的方案。
引用
@article{arxiv.1402.5575,
title = {High-accuracy absolute distance measurement by two-wavelength double heterodyne interferometry with variable synthetic wavelengths},
author = {Yoshiyuki Kuramoto and Hiroshi Okuda},
journal= {arXiv preprint arXiv:1402.5575},
year = {2014}
}
备注
7 pages